电子特气（Electronics Specialty Gases）被称为半导体工业的血液，在光刻、刻蚀、沉积、掺杂、清洗等半导体制造的核心工艺环节中广泛应用。为了保证产品的性能和可靠性，半导体行业对电子特气的纯度有很高的要求，通常在 5N（99.999%）以上，因此要求流体系统中使用的管阀件具有很高的清洁度。如果清洁度不达标，可能导致产品的质量缺陷，甚至扩散污染整条产品线，造成产品全部报废的严重后果。此外，由于很多电子特气具有有毒、有害或易燃易爆的特性，管阀件的密封性能也至关重要。

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